Изображение единичной

Изображение элементов на фотошаблоне должно соответствовать требованиям чертежа и быть черно-белым, контрастным с четкими и ровными границами при оптической плотности темных полей не менее 2,5 ... 3 ед. и прозрачных участков не более 0,15 ... 0,2 ед, замеренной с точностью ±0,02 ед. на фотоэлектрическом денситометре типа ДФЭ-10. Размеры печатных проводников и контактных площадок устанавливаются с учетом величины подтравливания. На рабочем поле фотошаблона не допускаются ореолы, пятна, точки, разрывы, полосы и другие видимые дефекты. Фотошаблон должен быть износостойким, иметь минимальную деформацию при изменении температуры и влажности окружающей среды, а также в процессе производства. В большей степени перечисленным требованиям удовлетворяют сверхконтрастные фотопластинки типа «Микрат-НК» и полированные силикатные стекла с металлизированными поверхностями, на которых получают контрольные фотошаблоны. Рабочие фотошаблоны изготавливают на малоусадочных (не более 0,01 . . . ... 0,03%) фотопленках типа ФТ-41П (СССР), РТ-100 (Япония) или «Агфалит» (ФРГ).

3-5. Схематическое изображение элементов катушечных обмоток: а — петлевой; б — волновой; стержневой; в — петлевой; г - волновой

Примечание. На 13.1 и других дано графическое изображение элементов печатнбй платы (проводников, отверстий, контактных площадок), отличающееся от принятого для изображения на чертежах (см. § 13.6).

В зависимости от типа процессов фотолитографии различают негативный (темнопольный) фотошаблон, на котором изображение элементов схемы выполнено в виде светлых фигур на темном поле, и позитивный (светлопольный) фотошаблон с темными элементами на светлом поле. Кроме того, получили распространение зеркальные фотошаблоны с зеркально-симметричным изображением элементов по отношению к топологии структуры и транспарантные *', на которых изображение элементов сформировано пленкой материала, не пропускающего актиничного для данного типа фоторезиста излучения, для неактиничного излучения материал практически прозрачен.

1. Принципиальная схема содержит изображение элементов всех аппаратов и машин. Расположение элементов на схеме дается так, как это удобно для чтения схемы, а не по,действительному пространственному их расположению, т. е. отдельные токоведущие элементы аппаратов и машин указываются в соответствии с их положением в электрической цепи вне зависимости от кинематической или конструктивной связи этих элементов. Каждый

17-16. Изображение элементов на схемах

17-16, Изображение элементов на схемах............ 420

характер из-за столкновения с .молекулам и ионами газа. Все большее число распыленных атомов не достигает подложки, а распыляется на стенках камеры или возвращается на катод. Большой вклад в рассеивание атомов вещества дает положительный столб с высокой плотностью ионов и электронов. Несмотря «а то, что поверхность катода излучает атомы в .соответствии с законом косинуса, поток атомов на поверхность подложки является хаотическим. В этом заключена одна из трудностей использования пр.и .катодном распылении накладных масок, дающих размытое изображение элементов.

характер из-за столкновения с .молекулам и ионами газа. Все большее число распыленных атомов не достигает подложки, а распыляется на стенках камеры или возвращается на катод. Большой вклад в рассеивание атомов вещества дает положительный столб с высокой плотностью ионов и электронов. Несмотря «а то, что поверхность катода излучает атомы в .соответствии с законом косинуса, поток атомов на поверхность подложки является хаотическим. В этом заключена одна из трудностей использования пр.и .катодном распылении накладных масок, дающих размытое изображение элементов.

16-15. Изображение элементов на схемах

16-15. Изображение элементов на схемах . .............'...'.•. 451

Учитывая изображение единичной функции L[l (О] = \jp (табл. 5.1) и соотношения (5.38) и (5.39), найдем изображение напряжениям,,^):

Учитывая изображение единичной функции L[l (Г)] = 1/р (табл. 5.1) и соотношения (5.38) и (5.39), найдем изображение напряжения ис(t):

Учитывая изображение единичной функции L[l(/)] = 1/р (табл. 5.1) и соотношения (5.38) и (5.39), найдем изображение напряжения и„ (t ):

Единичная ступенчатая функция. Изображение единичной функции можно получить, положив в (10.48) ос = 0:

Графическое изображение единичной функции приводится на рис, 32, а. Спектральная плотность единичной функции

Устремив т->0, найдем изображение единичной импульсной функции (5-функции): 5(г)ф1 (сравни с (6.40)). 3. Экспоненциальный сигнал f(t) — e~'*t при f>0:

Найдем операторное изображение единичной скачкообразной функции и единичной импульсной функции. Так как единичная скачкообразная функция во всем интервале 0 < t ^ + °о есть постоянная величина, равная единице, то ее операторное изображение согласно сказанному в § 10-2 будет

Действительно, по определению 1 (t) = 0 при t < О, т. е. 1 (—0)== = 0, и, следовательно, первое слагаемое равно нулю как при верхнем, так и при нижнем пределах. Интеграл же во втором слагаемом равен 1/р как операторное изображение единичной функции.

Таким образом, имеем операторное изображение единичной импульсной функции

Изображение единичной функции согласно (15-1) имеет вид:

Изображение единичной функции согласно (15-1) имеет вид: