Коэффициент использования

где Ъ — коэффициент испарения, учитывающий аэродинамические условия сушки и физические свойства жидкости; S — площадь поверхности; Рм и Р0 — давление водяных паров на поверхность материала и в окружающей среде.

% (ат.); F — площадь контакта расплава с паровой фазой, см2; а —коэффициент испарения {взаимодействия), см/с. Анализ уравнения (3.27) показывает, что для ускорения процесса синтеза необходимо, во-первых, повышать давление пара летучего компонента над расплавом, т. е. повышать значение равновесной концентрации Ср, во-вторых, увеличивать площадь контакта расплава с паровой фазой и, в-третьих, повышать коэффициент испарения (взаимодействия), что достигается в первую очередь перемешиванием расплава.

где C0 и С — начальная и текущая концентрации примеси в расплаве, атом/см3; a — коэффициент испарения, см/с; т — продолжительность процесса, с.

Коэффициент испарения наряду с эффективным коэффициентом распределения принадлежит к числу важнейших параметров кристаллизационного процесса. Экспериментально он может быть получен следующим образом. Расплав, имеющий начальную концентрацию С0, выдерживают в течение времени т. Затем определяют значение текущей концентрации примеси С и подставляют его вместе со значениями F и V в уравнение (4.40г), которое решают относительно а.

Влияние характера атмосферы на содержание кислорода в кремнии не однозначно. В общем случае вакуум способствует удалению оксида кремния (II) из расплава, что сдвигает реакцию (4.94а) вправо. Поэтому растворимость кварца в кремнии, выращиваемом в вакууме, выше, чем выращиваемом в атмосфере инертного газа: 8,5 и 6,25 мг/(см2-ч) соответственно. Однако вакуум способствует не только растворению оксида кремния (II) в расплаве кремния, но и его испарению с поверхности расплава. Скорость последнего процесса определяется рядом факторов, входящих в рассмотренный выше эффективный коэффициент испарения [см. уравнение (4.18а)]. В итоге конечный результат — накопление оксида кремния (II) в расплаве или его убыль — определяется соотношением обоих процессов. В общем случае концентрация кислорода в монокристаллах кремния, выращенных в вакууме, выше, чем в монокристаллах, выращенных в атмосфере инертного газа, особенно проточной.

1. Определить время насыщения расплавленной зоны примесью фосфора до стационарного значения ССт из атмосферы РС13, а которой методом бестигелыюй зонной плавки выращивают монокристалл кремния с Л" = Ы016 атом/см3, диаметром 40 мм (5=12,56 см2); скорость кристаллизации f = 2 мм/мин (3,33-10~3 см/с); коэффициент распределения фосфора для этой скорости /г = 0,41; эффективный коэффициент испарения 01 = 5-10 '• см/с; начальная концентрация примеси в расплаве зоны равна ее концентрации в исходном стержне: С,1 = С0= 1 • 1015 атом/см3; равновесная концентрация примеси для данных условий процесса Ср = = 5-1016 атом/см3; объем расплава в зоне Vp = 30 см3 и площадь ее поверхности ^ = 40 см2.

9. Рассчитать изменение концентрации примеси фосфора за время от момента расплавления загрузки исходного кремния до разращивания монокристалла до номинального диаметра, равное 60 мин. Монокристалл выращивают в вакууме из тигля диаметром 300 мм, содержащего1 20 кг расплавленного кремния; коэффициент испарения фосфора а= = 5- Ю-4 см/с.

17. Определить исходные данные для построения программы изменения скорости роста монокристалла, равномерно легированного из паровой фазы до концентрации ССт=Ы018 атом/см3 в процессе выращивания его методом горизонтальной направленной кристаллизации (см. 4.12, е) примесью, имеющей 6 = 0,5, в условиях, при которых коэффициент испарения примеси равен a=l-10~; ' см/с, а равновесная концентрация примеси в расплаве равна Ср = 5-1017 атом/см3. Длина контейнера L = 400 мм, его ширина 6 = 50 мм (F = 200 см2), а поперечное сечение монокристалла 5=20 см2.

20. Определить концентрацию примеси в подпитывающем расплаве двойного тигля, имеющего Л = 0,2, необходимую для выращивания из него в вакууме однородно легированного по длине монокристалла диаметром 30 мм (5 = 7,06 см2); скорость роста монокристалла 1,5 мм/мин (2,5-10~3 см/с); эффективный коэффициент распределения примеси при этой скорости & = 0,16; коэффициент испарения а=1,2х

где РТ, и Pft — давление насыщенных паров при температуре поверхностей испарения и конденсации соответственно; М — молекулярная масса вещества; R—r газовая постоянная; а — коэффициент испарения; Т — температура испарения.

где ос - коэффициент испарения, см/с; F - поверхность кристаллизуемого расплава, контактирующего с газовой фазой, см2; s - площадь поперечного сечения кристалла, см2; v - скорость выращивания монокристалла, см/с.

Коэффициент использования представляет собой отношение средней активной мощности, потребляемой приемником или группой приемников за определенное время (цикл, смену, год), Рср к установленной мощности приемников:

где /Си. см —коэффициент использования за наиболее загруженную смену.

где F — световой поток каждой лампы, лм; ?min — заданная минимальная освещенность, лк; /С — коэффициент запаса, равный 1,3—1,7 для ламп накаливания и' 1,5—2, для люминесцентных ламп; S — площадь помещения, м2; z = Ec9/Emin— коэффициент отношения средней освещенности к минимальной, зависящий от типа светильников и находящийся в пределах 1,2—1,4; N — число светильников, которое предварительно задается; т] — коэффициент использования светового потока.

где 5 — освещаемая площадь, м2; ?ср — средняя норма освещенности, лк; /С — коэффициент запаса, равный 1,3; F — световой поток лампы, лм; TJ — коэффициент использования светового потока прожектора; т — коэффициент рассеяния (т==1,15 для больших поверхностей; т=1,5 для узких участков).

где г о— сопротивление одиночного заземлителя; п — число заземлителей; т] — коэффициент использования заземлителей, определяемый по графикам или таблицам в зависимости от конструкции заземляющего устройства.

где От — предел текучести материала; Кп — коэффициент приведенной прочности; /Си — коэффициент использования прочности материала (Ди=0,4.. .0,5 для часто разбираемых соединений; /(„=0,7.. .0,8 для неразбираемых соединений); d0 — диаметр резьбы; К— коэффициент, зависящий от конструкции соединения (/С== = 1,2 для винтов с круглой и цилиндрической головкой; К= — 1,35 для винтов с полупотайной головкой; /С=1,65 для винтов с потайной головкой); \л — коэффициент трения;

Наряду с технологическими предпосылками переналаживаемо-сти сборочного АСТО не менее важными являются конструктивные предпосылки, характеризующие способность конструкции сборочного агрегата к быстрой переналадке. Возможности перенала-живаемости сборочных устройств (АСТО, СТО) должны закладываться в конструкцию АСТО в самом начале ее зарождения. Замена узлов сборочных АСТО (СТО) возможна в том случае, если они построены по агрегатному принципу. Большое значение при этом имеет степень расчлененности па узлы, которая зависит от выбранной системы агрегатирования АСТО. Однако замена отдельных узлов сборочного АСТО очень часто связана с длительной ее отладкой, что относится в первую очередь к узлам автоматической подачи и ориентации деталей и узлов сопряжения. Кроме того, возникает необходимость в создании и хранении дополнительных, иногда конструктивно сложных узлов и механизмов, имеющих низкий коэффициент использования. Выбирая систему агрегатирования устройства из условий ее переналаживаемости применительно к конкретному ряду изделий, стремятся к тому,

где Q — годовой расход материала, т; / — норма запаса, раб. дн.; q — норма грузонапряженности полезной площади при высоте хранения 1 м, т/м2; h — высота укладки хранимых материалов, м; К — коэффициент использования полезной площади кладовой; т — число рабочих дней в году; Кс — коэффициент изменения грузонапряженности в зависимости от типа производства; /<СС= — 1 — для мелкосерийного; /<СС=1,1 — для крупносерийного; /Сс= = 1,2 — для массового.

где Кр.м — коэффициент, учитывающий расход основных материалов на техническое обслуживание; Нк — норма расхода материала на один капитальный ремонт оборудования на одну ремонтную единицу; a — коэффициент, характеризующий соотношение между количеством материала, расходуемого при среднем и капитальном ремонтах; Ь — коэффициент, характеризующий соотношение между количеством материала, расходуемого при малом и капитальном ремонтах. Важное значение приобретает задача сокращения времени простоя оборудования в ремонте, что позволяет повысить коэффициент использования оборудования. Продолжительность простоя оборудования в ремонте зависит от категории сложности ремонта данного вида оборудования, вида ремонта, которому оно подвергается, числа и квалификации одновременно работающих ремонтных рабочих, технологии ремонта и организаций технических условий выполнения ремонтных работ.

Пусть Ки — комплексный коэффициент эксплуатационной надежности (комплексный коэффициент использования) машины, характеризующий потерю производительности из-за нарушения надежности функционирования ЭВМ. Тогда с учетом надежности машины формулы (1.1) и (1.2) примут вид

плексный коэффициент использования)