Комплекта вентильных

Рассмотрим обобщенную схему изготовления фотошаблонов ( 3.5). Процесс изготовления комплекта фотошаблонов начинается с разработки технического задания, которое строится на базе основной информации о топологии структур и дополнительной информации, к которой относятся сведения о типе фотошаблона (светлополь-ный или темнопольный, зеркальный, транспарантный) и о мультиплицировании (количество мультиплицированных структур, число и координаты пропусков структур, облегчающих процесс совмещения, а также другие непериодические изображения; номера, тестовые структуры и т. д.), а также контрольная информация.

Для получения комплекта фотошаблонов ИМС средней сложности с помощью фотонаборного генератора необходимо затратить около 3 ч. Тот же процесс с использованием редукционной камеры требует примерно 100 ч.

Краткие сведения об изготовлении фотошаблонов. Изготовление комплекта фотошаблонов — это наиболее сложный этап подготовки производства полупроводниковых ИС. Высокая точность элементов рисунка и относи-

тельного расположения отдельных рисунков на групповом фотошаблоне (до нескольких десятых долей микрометра) обусловливает большую трудоемкость изготовления и высокую стоимость комплекта фотошаблонов. Последнее часто служит экономическим препятствием при организации мелкосерийного производства ИС.

Многоместные фотоштампы позволяют достичь совмещаемости комплекта фотошаблонов ± 1 мкм и заметно повысить производительность процесса мультипликации.

Совмещаемость комплекта фотошаблонов, экспонированных одновременно ... . . ±0,001 мм

и составление таблиц координат угловых точек для дальнейшего изготовления комплекта фотошаблонов.

Краткие сведения об изготовлении фотошаблонов. Изготовление комплекта фотошаблонов — это наиболее сложный этап подготовки производства полупроводниковых ИС. Высокая точность элементов рисунка и относи-

тельного расположения отдельных рисунков на групповом фотошаблоне (до нескольких десятых долей микрометра) обусловливает большую трудоемкость изготовления и высокую стоимость комплекта фотошаблонов. Последнее часто служит экономическим препятствием при организации мелкосерийного производства ИС.

Многоместные фотоштампы позволяют достичь совмещаемости комплекта фотошаблонов ± 1 мкм и заметно повысить производительность процесса мультипликации.

Совмещаемость комплекта фотошаблонов, экспонированных одновременно ... . . ±0,001 мм

Два комплекта вентильных разрядников И группы у силовых трансформаторов

Два комплекта вентильных разрядников !! группы: один — у силового трансформатора, второй — в линейной ячейке или на реакторном присоединении

Два комплекта вентильных разрядников II группы: один — у силового трансформатора, второй — на шинах, в линейной ячейке или на реакторном присоединении

Два комплекта вентильных разрядников II группы у силовых трансформаторов

Тупиковая, выпол- 2 комплекта вентильных 2,5 70 ____ 250* ___ 330* 235*

Тупиковая, по схеме Два комплекта вентильных разряд- 95 150/700 150/700

Проходная, с двумя ВЛ и одним трансформатором по схеме треугольника Два комплекта вентильных разрядников II группы: один комплект у силового трансформатора, второй на шинах, в линейной ячейке или на реакторном присоединении 130 350/700 350/900

Проходная, с двумя Два комплекта вентильных разряд- 160 350 800

На 242 приведены схемы защиты подстанций напряжением 3—220 кв в соответствии с изложенными положениями. Необходимо отметить, что если один комплект вентильных разрядников не обеспечивает надежной защиты всего электрооборудования по допустимым расстояниям (в соответствии с данными табл. 51), необходимо устанавливать два комплекта вентильных

Два комплекта вентильных разрядников II группы один комплект у силового трансформатора, второй линейной ячейке

Проходная с двумя ВЛ и двумя трансформаторами по схеме мостика Два комплекта вентильных разрядников 11 группы у силовых трансформаторов 2,0 2,5 3,0 60 80 130 20 60 320 400 475 260 310 420 500 580 300 360 415