Конструкции устройства

В настоящее время разрабатываются и прошли успешное испытание новые конструкции установок для выращивания монокристаллов кремния из небольшой массы расплава, подпитываемого жидким кремнием. Схема одной из таких установок приведена на 4.50. Она состоит из двух отдельных камер: рабочей, в которой выращивают монокристалл, и плавильной, в которой приготовляют подпитывающий расплав, подаваемый в рабочий тигель сифоном, представляющим кварцевую трубу, обогреваемую по всей длине электронагревателя с удельной мощностью 20 Вт/см.

Известны конструкции установок с загрузкой радиоэлементов на липких лентах ( 150).

Для наружных установок класса В-1г заземлители от прямых ударов молнии должны иметь импульсное сопротивление Д„ ^ ^ 50 Ом на каждый токоотвод, к этим же заземлителям присоединяются молниеотводы, металлические корпуса и другие металлические конструкции установок. Присоединение к заземлителям должно осуществляться не более чем через 25 м по периметру основания установки. Минимальное число присоединений — не менее двух.

2.7.3. Перспективные конструкции установок с газоохлаждаемыми реакторами... 175

2.7.3. Перспективные конструкции установок с газоохлаждаемыми реакторами... 175

Метод газофазной эпитаксии подразделяется на эпитаксию при обычном давлении, эпитаксию при низком давлении и эпитаксию в плазме. В последнее время исследуется также эпи-таксия с фотостимулированием (будет рассмотрена позже). Конструкции установок газофазной эпитаксии, соответствующих этим трем методам, представлены на 4.33—4.35. Все они позволяют обрабатывать большое число подложек одновременно, обеспечивают однородность слоя S13N4 при высокой воспроизводимости его свойств и позволяют достичь высокой скорости наращивания слоев S13N4. Ниже представлены пояснения

По форме сечения электронного луча бывают 3 вида установок. Установки 1-го вида с электронной пушкой с круглым сечением луча (распределение Гаусса) обеспечивают минимальное поперечное сечение электронного пучка. Установки 2-го вида предполагают формирование с помощью, например, квадратной диафрагмы на пути распространения электронного луча, пучка с четырехугольным или квадратным поперечным сечением. В конструкции установок 3-го вида ( 4.64) луч последовательно проходит через две диафрагмы и размещенные между ними отклоняющие пластины. Путем частичного перекрытия применяемых прямоугольных диафрагм можно получить еще «более сложную изменяемую форму сечения пучка.

На 4.74 представлены упрощенные конструкции установок сухого травления для каждого из методов. На а — снаружи кварцевой цилиндрической камеры установлены электроды или катушка. При подаче на них высокочастотного (13,56 МГц) напряжения возникает электрический разряд в среде активного газа. В высокочастотном электромагнитном поле коэффициент ионизации повышается и формируется высокоплотная плазма. В этих условиях лицевая поверхность образца, находящегося под плавающим электрическим потенциалом, покрывается оболочкой из ионов. Если электрический потенциал образца отрицательный (—Vi), то плазма, примыкающая к ионной оболочке, приобретает положительный потенциал Vv. Следовательно, лицевую поверхность образца бомбардируют ионы, ускоренные максимальным напряжением Vp—Vf. Однако, по-

в) металлические конструкции установок, металлические оболочки и броня кабелей и проводов, стальные трубы электропроводки;

Следующим шагом в развитии микроэлектронной СВЧ-аппаратуры являются многоканальные СВЧ ГИФУ с общей герметизацией и жидкостным охлаждением, что позволяет снизить в 2 раза массу и объем в 5 раз по сравнению с устройством, выполненным на основе отдельных ГИФУ, устанавливаемых на общей СВЧ—коммутационной плате с жидкостным охлаждением. При этом выигрыш получен только за счет уменьшения металлоемкости конструкции устройства и исключения кабелей коммутации.

достаточно полно проанализировать возможные варианты компоновки и конструкции устройства и выполнить предварительную оценку их характеристик.

Конструкторское проектирование устройств предусматривает разработку конструкции устройства. Смысл технологического проектирования состоит в разработке технологической подготовки производства с изготовлением документации для изготовителя.

Среднее распределительное устройство состоит из горизонтального коллектора с отверстиями, в которые вставляются сборно-распределительные трубы с перфорированными отверстиями диаметром 6 мм, расположенными на нижней образующей. Отверстия по всей длине трубы перекрывают приваренные желобы, ширина щелей которых 0,25 мм. Конструкция щелевого сборно-распределительного устройства аналогична конструкции устройства, показанного на 65.

К конструкторским з ад а ч а м, выполняемым на стадии рабочей документации, относится разработка конструкции устройства и входящих в него функциональных узлов, методики их испытаний и др.

схематизация, закрепление и расширение полученных теоретических знаний, приобретение практических навыков творческого решения конкретных конструкторских задач. В процессе курсового проектирования студент должен продемонстрировать умение использовать теоретические знания, накопленные в результате изучения предшествующих дисциплин для решения конкретной конструкторской задачи, освоить новый дополнительный материал для разработки элементной базы РЭА на современном уровне достижений науки и техники. Овладение основами проектирования, конструирования и расчета важно не только для инженера-конструктора, но и для инженера-технолога, инженера-эксплуатационника, так как без понимания конструкции устройства и работы его деталей, без учета нагрузок, действующих на них, невозможны грамотное изготовление комплектующих РЭА и правильная их эксплуатация.

Курсовой проект обязательно включает в себя расчетную часть, с помощью которой определяются основные параметры, размеры деталей и конструкции устройства в целом, выполняется аналитическое обоснование ранее принятых и принимаемых впоследствии конструкторских решений (количественно оценивается возможное изменение параметров проектируемого УФЭ или ЭРЭ при длительной работе, анализируются точность и стабильность параметров, прогнозируется качество согласно [1]). Следует иметь в виду, что расчет должен сопровождаться составлением и уточнением эскизных чертежей деталей, сборочных единиц и всего изделия. Нельзя откладывать выполнение эскизных чертежей до окончания всех расчетов. Это может привести к тому, что после их разработки большинство расчетов нужно будет делать заново, так как только на чертежах можно уточнить окончательные размеры и форму деталей, произвести их увязку и т. д.

При реализации оптимальных схем обнаружения возникают трудности, обусловленные несовершенством конструкции устройства обработки. Поэтому реальная схема согласованного фильтра является квазиоптимальной, а потери в отношении сигнал/помеха определяются коэффициентом р [9].

заторов. При непосредственном креплении несущих конструкций РЭА на носителе жесткость системы находится на основе анализа элементов крепления и несущей конструкции устройства.

Режим ждущего мультивибратора по постоянному току не изменяется при изменении емкости времязадающего конденсатора Cj. Однако изменение емкости (путем регулировки или переключения) связано с усложнением конструкции устройства. Кроме того, увеличение длительности выходного импульса при увеличении С( приводит к возрастанию и времени восстановления схемы, что не всегда желательно.

Значения ак(Л7\)), f(&T0) и е определяются из справочных данных [28]. Ребристые охладители также просты в изготовлении, позволяют отводить значительные мощности, но эффективность теплоотвода для этой конструкции охладителей сильно зависит от ориентации по отношению к потоку теплоносителя, что не всегда удобно при разработке конструкции устройства в целом.