Технологическим процессом

гинальную оснастку в процессе технологического контроля ее проектирования и запуска в производство, определяет потребности в универсальной таре и разрабатывает ее для деталей и сборочных единиц. Проектирование и оснащение рабочих мест проводится согласно групповым и типовым технологическим процессам.

Разделы по автоматизированным технологическим процессам и автоматическому электрооборудованию предусмотрены в профилирующих предметах учебных планов. Изучение этих предметов возможно только при условии предварительной подготовки учащихся по теоретическим вопросам электротехники и электроники, з нания общих принципов действия и устройства силового электрооборудования, приборов контроля и элементов автоматики.

Вследствие того что технологическим процессам микроэлектроники присущ случайно-детерминированный характер, значение Сможет колебаться в широких пределах не только для каждой партии, но и для пластины. Поэтому выражение (2.5) имеет ограниченное применение.

Расширение номенклатуры материалов, используемых для производства ГИС, в частности применение тугоплавких материалов и материалов сложного состава, а также стремление перейти к непрерывным технологическим процессам повысили интерес к получению тонких пленок с помощью ионного распыления. Основными достоинствами методов ионного распыления материалов являются: возможность распыления практически всех материалов современной микроэлектроники, в том числе различных соединений (нитридов, оксидов и т. д.) при введении в газоразрядную плазму реакционно-способных газов (реактивное распыление); высокая адгезия получаемых пленок к подложкам, поскольку энергия распыленных частиц выше энергии испаренных частиц; сохранение стехиометри-ческого состава пленок при распылении многокомпонентных сплавов; однородность пленок по толщине, в том числе при осаждении на поверхности, имеющие сложный профиль; очистка поверхности подложек с помощью ионной бомбардировки как перед, так и в процессе осаждения пленки.

2) расширить знания по технологическим процессам (ТП), применяемым при изготовлении УФЭ и ЭРЭ в условиях гибкого автоматизированного производства;

Наука о принципах и методах установления наиболее эффективных норм и правил взаимодействия элементов общественного производства с точки зрения их совместимости, унификации и рациональной организации называется стандартизацией. Стандарты — это технические законы, устанавливающие определенные требования к материалам, изделиям, технологическим процессам, технической и технологической документации, методам испытаний и т. п. Метрология и стандартизация тесно связаны между собой: с одной стороны измерения пронизаны различными стандартами (например, на средства, методики), с другой стороны, измерения обеспечивают методы и средства контроля выполнения стандартов. Поэтому в Советском Союзе стандартизация и метрология объединены в единой государственной службе — Государственном комитете стандартов Совета Министров СССР (Госстандарт СССР).

Отметим, что технические методы и оборудование в микроэлектронике совершенствуются очень быстро, и сейчас минимальные геометрические размеры элементов приближаются к предельно допустимым, сравнимым с длиной световой волны. Это выдвигает определенные требования к технологическим процессам изготовления БИС по точности, прецизионности и воспроизводимости, что возможно только при автоматическом или автоматизированном ведении процессов.

В каждой главе книги рассматриваются особенности конкретных типов приборов и технологических процессов их производства. Прежде всего это относится к таким современным и перспективным видам технологических процессов, как планар-ная и МДП-технологии, а также к технологическим процессам производства оптоэлектронных приборов.

Следует отметить, что технические методы и оборудование в микроэлектронике совершенствуются очень быстро, и сейчас минимальные геометрические размеры элементов приближаются к предельно допустимым, сравнимым с длиной световой волны. Это выдвигает определенные требования к технологическим процессам изготовления БИС по точности, прецизионности и воспроизводимости, что возможно только при автоматическом или автоматизированном ведении процессов.

При всем многообразии размеров и форм пластин магнитопро-водов плоской шихтованной конструкции технологию получения их из рулонной стали можно свести к двум основным процессам: продольная резка исходных рулонов: на отдельные рулоны, по ширине равные изготавливаемым из них пластинам, и поперечная резка раскроенных рулонов на мерные по длине пластины. Технологию получения витых элементов из рулонной стали можно также свести к двум технологическим процессам: продольная резка (аналогично) и навивка из раскроенных рулонов витых элементов требуемой формы.

Следует отметить, что технические методы и оборудование в микроэлектронике совершенствуются очень быстро, и сейчас минимальные геометрические размеры элементов приближаются к предельно допустимым, сравнимым с длиной световой волны. Это выдвигает определенные требования к технологическим процессам при изготовлении БИС по точности, прецизионности и воспроизводимости, что возможно только при автоматическом или автоматизированном ведении процессов. Задача усложняется еще и тем, что для изготовления БИС требуется более трудоемкий технологический процесс, чем при изготовлении обычных интегральных микросхем, а сам процесс в сильной степени влияет на схемотехнические параметры БИС. Это, в свою очередь, выдвигает ряд требований и ограничений, которые необходимо учитывать при разработке БИС.

решения можно осуществить при помощи цифровых устройств на основе логических элементов. Такие устройства реализуют логическое преобразование совокупности сигналов об условиях работы в совокупность сигналов управления технологическим процессом.

Измерительным прибором называют средство измерений, которое предназначено для выработки сигнала измерительной информации в форме, допустимой для непосредственного восприятия наблюдателем. Форма сигнала должна соответствовать использованию ее или для регулирования или управления технологическим процессом, или для автоматической регистрации, или для передачи на расстояние, или для восприятия органами чувств человека.

Механизация и автоматизация в механических цехах развивается по следующим направлениям: 1) максимальное использование токарных автоматов, холодновысадочных автоматов и токарно-револьверных станков, доведение их применения до 50 °/о от общей трудоемкости механической обработки цеха; 2) внедрение станков с программным управлением и ЧПУ и создание на их базе автоматизированных систем управления технологическим процессом (АСУ ТП) с использованием промышленных роботов для механизации вспомогательных операций; 3) оснащение универсальных станков механизмами, работающими в качестве зажимных быстродействующих устройств, автоматических загрузочных, контрольно-измерительных и прочих устройств; 4) орга-

средств (КТУ АСУ ГПС) 509 технологическим процессом (АСУ ТП) 476

— управление технологическим процессом (АСУ ТП) 452

Защита отдельных ячеек памяти. В управляющих вычислительных комплексах, предназначенных для работы в АСУ ТП, необходимо обеспечить возможность отладки новых программ параллельно с функционированием находящихся в памяти рабочих программ, управляющих технологическим процессом. Это может быть достигнуто выделением в каждой ячейке памяти специального «разряда зашиты». Установка 1 в этот разряд запрещает производить запись в данную ячейку.

являются и узлом сосредоточения приборов и аппаратуры, управляющих технологическим процессом данной установки, цеха или предприятия.

Таким образом, более половины мощности, развиваемой первичными двигателями на электростанции (паро-выми, гидро- или газовыми турбинами), теряется при ее передаче и преобразовании. Если учесть еще и потери, связанные с технологическим «процессом, то энергия, затрачиваемая на выполнение полезной работы, иногда составляет менее 40% энергии, получаемой на электростанциях.

Максимальные значения'скоростей и ускорений ограничиваются технологическим процессом, механизмом подъемной системы и электроприводом буровой лебедки.

К ограничивающим факторам, обусловленным технологическим процессом и механизмом, относятся прочность талевого каната, бурильных труб и деталей подъемного механизма, условия безопасности, особенности поведения скважины.

Эти системы (1, 2,...), выполненные как аналоговые, цифровые или как их комбинация, входят в качестве локальных систем в общую, иерархическую структуру автоматической системы управления технологическим процессом (АСУ ТП) с помощью управляющей вычислительной машины (УВМ). Задачей